浙江省科技厅重点资助项目(2004C21007)
- 作品数：5 被引量：19H指数：3
- 相关作者：李伟胡晓珍张璟马树林叶怀储更多>>
- 相关机构：浙江工业大学浙江海洋学院浙江省质量技术监督局更多>>
- 发文基金：浙江省科技厅重点资助项目浙江省自然科学基金浙江省教育厅重点资助项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术化学工程自然科学总论更多>>
- MS-6BC型精密双面抛光机的研制被引量：7
- 2008年
- 光电子信息产业的快速发展,要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工,精密双面抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工方法之一。本文介绍了新研制的MS-6BC型精密双面抛光机,介绍了其结构及其特点,并论述了双面抛光加工的主要工艺因素和过程。最后通过试验验证了MS-6BC型精密双面抛光机具有加工精度高,控制性能好的特点,适用于蓝宝石、单晶硅等人工晶片的超精密加工。
- 张璟胡刚翔马树林李伟叶怀储
- 关键词：光电子材料超光滑表面
- 纳米级双面抛光机控制系统设计
- 2009年
- 设计了纳米级双面抛光机的控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了控制系统的组成,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案。采用WindowsCE软件平台,图形化界面功能指示、高可靠性的实时操作系统、高精度光栅传感器、压力传感器、数字阀组成电气联合控制系统,应用新型电气直接数字控制技术实现该机的自动加工。
- 胡晓珍胡晓冬李伟
- 关键词：超精密直接数字控制
- 超精密双面抛光机控制系统的研究被引量：3
- 2005年
- 介绍了超精密双面抛光机的控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了控制系统的组成,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案。采用W indows软件平台,图形化界面功能指示、高精度光栅传感器、压力传感器、数字阀组成电气联合控制系统,应用新型电气直接数字控制技术实现该机的自动加工。
- 胡晓珍胡晓东李伟
- 关键词：超精密直接数字控制
- 双面抛光机内外齿圈齿比的研究被引量：3
- 2011年
- 双面抛光机作为超精密加工的重要设备,它的加工质量主要由工件表面加工轨迹和抛光机的振动所决定。作为抛光机的关键因素之一,工件表面的加工轨迹和内外齿圈齿比有着直接的联系。调整内外齿圈齿比是双面抛光机进行生产之前最重要的一件事。最新的研究表明,双面抛光机的振动也与内外齿圈齿比有很大的联系,但是具体的关联理论尚不明确。文章通过具体实验调整内外齿圈齿比得到1个优化的参数使双面抛光机的振动减小,为固定内外齿圈齿比双面抛光机的制造提供参考,同时在实验中,还发现了抛光机振动与加工轨迹的1个新的关系。
- 金程李伟
- 关键词：金属加工
- 超精密双面抛光机结构的优化设计被引量：9
- 2009年
- 针对传统双面抛光机存在的问题,从实现超精密抛光的设备条件出发,对机床传动系统、主轴支撑结构、上抛光盘加载系统、抛光盘修整、床身等进行优化改进设计。提高了超精密双面抛光机床的精度和系统性能,为晶片获得纳米级加工精度的超光滑加工表面创造了有利条件。
- 胡晓珍李伟
- 关键词：超精密加工优化设计
