潘峰
作品数： 6被引量：5H指数：1
  • 所属机构:中国电子科技集团公司
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

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广明安
作品数：10被引量：18H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：键合 键合机 超声键合 全自动 夹持
陈威
作品数：21被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司
研究主题：化学机械抛光 硅片 抛光 心轴 晶圆
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