-
李敏
-

-

- 所属机构:中国科学院自动化研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 韩立

- 作品数:443被引量:492H指数:9
- 供职机构:中国科学院电工研究所
- 研究主题:电子束 原子力显微镜 电流变液 扫描探针显微镜 电子束曝光
- 林云生

- 作品数:59被引量:100H指数:7
- 供职机构:中国科学院电工研究所
- 研究主题:原子力显微镜 扫描探针显微镜 AFM SPM 扫描器
- 左燕生

- 作品数:21被引量:32H指数:4
- 供职机构:中国科学院电工研究所
- 研究主题:扫描探针显微镜 原子力显微镜 SPM 悬臂梁 微悬臂梁
- 方光荣

- 作品数:71被引量:106H指数:6
- 供职机构:中国科学院电工研究所
- 研究主题:图形发生器 电子束曝光机 电子束 电子束曝光 电子束曝光系统
- 陈代谢

- 作品数:26被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国科学院电工研究所
- 研究主题:原子力显微镜 AFM 进针 扫描器 SPM