李敏
作品数: 7被引量:11H指数:2
  • 所属机构:中国科学院自动化研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

韩立
作品数:443被引量:492H指数:9
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 电流变液 扫描探针显微镜 电子束曝光
林云生
作品数:59被引量:100H指数:7
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:原子力显微镜 扫描探针显微镜 AFM SPM 扫描器
左燕生
作品数:21被引量:32H指数:4
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:扫描探针显微镜 原子力显微镜 SPM 悬臂梁 微悬臂梁
方光荣
作品数:71被引量:106H指数:6
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 电子束曝光机 电子束 电子束曝光 电子束曝光系统
陈代谢
作品数:26被引量:22H指数:3
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:原子力显微镜 AFM 进针 扫描器 SPM