王一
作品数： 15被引量：0H指数：0
  • 所属机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
  • 所在地区:辽宁省 沈阳市
  • 研究方向:金属学及工艺

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谷德君
作品数：52被引量：12H指数：2
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
汪涛
作品数：6被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 晶圆 湿法处理 承片台 半导体
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