-
庄海涵
-
-
- 所属机构:北京航天控制仪器研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国防基础科研计划
相关作者
- 邢朝洋
- 作品数：82被引量：116H指数：7
- 供职机构：北京航天控制仪器研究所
- 研究主题：硅 微系统 MEMS 全硅 硅基
- 刘福民
- 作品数：106被引量：4H指数：1
- 供职机构：北京航天控制仪器研究所
- 研究主题：键合 电极 MEMS加速度计 晶圆 刻蚀
- 徐宇新
- 作品数：91被引量：41H指数：4
- 供职机构：北京航天控制仪器研究所
- 研究主题：加速度计 电极 硅 MEMS加速度计 全硅
- 梁德春
- 作品数：63被引量：28H指数：3
- 供职机构：北京航天控制仪器研究所
- 研究主题：键合 刻蚀 晶圆 刻蚀技术 芯片
- 胡启方
- 作品数：23被引量：32H指数：4
- 供职机构：北京航天控制仪器研究所
- 研究主题：硅 全硅 MEMS 标度因数 MEMS器件
