张乾
作品数： 25被引量：0H指数：0
  • 所属机构:北京七星华创电子股份有限公司
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

王艾
作品数：39被引量：3H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体 硅片 立式炉 加热器 温度补偿方法
徐冬
作品数：78被引量：5H指数：2
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 承载器 半导体 异常状态 半导体设备
王健
作品数：11被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体 安全隐患 绝缘材料 凸台 通孔
周厉颖
作品数：31被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：炉体 半导体 半导体工艺设备 保温层 风道
孙少东
作品数：124被引量：18H指数：2
供职机构：淮安信息职业技术学院
研究主题：炉体 半导体 立式 半导体工艺设备 立式炉
作品列表