-
郭福东
-
-
- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 王向朝
- 作品数:827被引量:1,352H指数:19
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
- 唐锋
- 作品数:217被引量:100H指数:7
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
- 卢云君
- 作品数:72被引量:28H指数:5
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 光栅 投影物镜
- 冯鹏
- 作品数:45被引量:21H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:干涉图 干涉仪 波前传感器 分波 剪切
- 张国先
- 作品数:13被引量:5H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:波像差 干涉仪 相移器 投影物镜 测量仪