许嘉俊
作品数: 30被引量:32H指数:3
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国防科技技术预先研究基金

相关作者

邢廷文
作品数:251被引量:418H指数:12
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
贾辛
作品数:45被引量:42H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 空间滤波器 移相 波片 绝对测量
徐富超
作品数:46被引量:21H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 移相 干涉仪 光学元件 平移
冯婕
作品数:21被引量:35H指数:3
供职机构:中国科学院
研究主题:计算全息 CMOS图像传感器 标准镜头 质子辐照 CCD
林妩媚
作品数:127被引量:133H指数:7
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差