-
徐勤志
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
相关作者
- 陈岚
- 作品数：899被引量：164H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
- 曹鹤
- 作品数：61被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：CMP 研磨 冗余 网格 研磨液
- 刘建云
- 作品数：33被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：研磨 研磨液 CMP 表面形貌 平坦性
- 方晶晶
- 作品数：21被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
- 孙艳
- 作品数：34被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：网格 CMP 仿真方法 金属 冗余
