马军
作品数： 43被引量：49H指数：5
  • 所属机构:中国科学院声学研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

汪承灏
作品数：197被引量：308H指数：10
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：硅 振动膜 芯片 硅微电容传声器 压电
李俊红
作品数：87被引量：66H指数：5
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：压电 硅 芯片 振动膜 矢量水听器
魏建辉
作品数：36被引量：35H指数：4
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：硅微电容传声器 电容传声器 振动膜 空气隙 芯片
徐联
作品数：59被引量：17H指数：3
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：振动膜 硅微电容传声器 芯片 电容传声器 硅
田静
作品数：242被引量：467H指数：12
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：硅微电容传声器 声学 电容传声器 振动膜 有源噪声控制
作品列表
一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法
本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法，MEMS压电矢量水听器包括：1-3个后置放大电路、灌封结构以及1-3个压电传感芯片。1-3个后置放大电路被相互垂直放置在灌封结构，其中，每个后置放大电路上粘贴并焊接一个压...
李俊红汪承灏魏建辉马军任伟
硅微传声器的电声测试与灵敏度分析
本文根据所研制的电容式硅微传声器理想模式下的工作原理,建立了分析声-电模型,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性,并对不同结构参数的电容式微传声器进行性能测试,得出了系统优化的设计原则.若想得到高灵敏度的微传...
马军汪承灏李伯权李晓东田静吕亚东
关键词：振膜电声测试灵敏度
文献传递
圆形振动膜硅微电容传声器
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz～18kHz的范围内的频率响应也较平坦.
田静汪承灏徐联乔东海马军郝震宏魏建辉
关键词：微电子机械系统硅微电容传声器
文献传递
具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
本发明涉及一种具有串联结构的MEMS压电矢量水听器，包括：1‑3个传感单元和灌封结构，1‑3个传感单元被相互垂直放置在灌封结构；其中，每个传感单元包括至少两个压电传感芯片、绝缘板和后置放大电路，至少两个压电传感芯片串联焊...
汪承灏李俊红魏建辉马军任伟
文献传递
MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展被引量：11
2018年
基于微电子机械系统制造技术的MEMS压电水听器和矢量水听器具有小型化、低功耗、低成本、易成阵、无源、噪音低等优点。对基于ZnO薄膜的MEMS水听器和矢量水听器进行了研究,测试结果表明,硅微压电水听器的灵敏度为-192 d B(ref.1 V/μPa),基本达到实用化的要求。MEMS压电矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 d B(ref.1 V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 d B,但还未达到实用化要求。为了进一步提高MEMS矢量水听器的灵敏度,设计了具有U形槽的压电复合悬臂梁结构和电极串联结构,采用具有更高压电系数的掺钒ZnO薄膜作为压电层,并对MEMS制备工艺进行了改进,有望显著提高MEMS矢量水听器的灵敏度。
李俊红马军魏建辉任伟
关键词：微电子机械系统水听器ZNO薄膜灵敏度
一种分层介质中目标或缺陷的声学检测方法
本发明涉及一种分层介质中目标或缺陷的声学检测方法，该方法包括：步骤1)将换能器阵列布放于分层介质表面，选择换能器阵列中任意一个阵元向分层介质内发射前向声束，并通过换能器阵列中的其余阵元接收由目标或缺陷反馈的散射信号和界面...
汪承灏高翔马军师芳芳王文
文献传递
时间反转和逆时偏移混合法中参数改变对目标检测和定位的影响
2018年
时间反转和逆时偏移混合法能有效地抑制分层介质中界面或底面反射波的干扰,从而实现分层介质中目标的检测和定位。该文计算得到阵列阵元的疏密,目标在空间中不同位置,以及不同载波频率相应的声场图和声场等高线图,从而详细研究不同参数对目标检测和定位的影响。研究结果表明,接收阵元需要达到一定数目才能获得较好的聚焦效果;目标无论距阵列远近都可以被很好地定位,特别是离界面很近的目标也可以清晰地分辨出来;用调制载波信号可以得到在目标处更尖锐的声场分布,但周围的各处声场分布高低起伏,可能带来定位的不稳定。
高翔李鉴马军师芳芳
关键词：逆时偏移超声检测
一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法
本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法，MEMS压电矢量水听器包括：1‑3个后置放大电路、灌封结构以及1‑3个压电传感芯片。1‑3个后置放大电路被相互垂直放置在灌封结构，其中，每个后置放大电路上粘贴并焊接一个压...
李俊红汪承灏魏建辉马军任伟
文献传递
具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
本发明涉及一种具有串联结构的MEMS压电矢量水听器，包括：1-3个传感单元和灌封结构，1-3个传感单元被相互垂直放置在灌封结构；其中，每个传感单元包括至少两个压电传感芯片、绝缘板和后置放大电路，至少两个压电传感芯片串联焊...
汪承灏李俊红魏建辉马军任伟
MEMS压电水听器的研究
MEMS 水听器由于其体积小、重量轻、可集成化的特点,可应用于水下分布式传感网和声纳基阵。本文将报道用 MENS 技术制备的硅微压电水听器,它是由压电薄膜和非压电弹性膜所构成交合层状形成弯曲振动换能器,压电薄膜采用 Zn...
马军郝震宏徐联李伯权汪承灏
关键词：水听器MEMS压电薄膜
文献传递
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