步扬
作品数： 157被引量：266H指数：10
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

王向朝
作品数：827被引量：1,352H指数：19
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
李中梁
作品数：127被引量：154H指数：10
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：正弦相位调制 偏振 医用光学 斯托克斯参量 干涉仪
李思坤
作品数：167被引量：181H指数：9
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
徐静浩
作品数：27被引量：55H指数：5
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：宽光谱 显微物镜 衍射极限 光学系统 光谱仪
蔡燕民
作品数：55被引量：155H指数：8
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 照明系统 光学系统 像差 场曲
作品列表