殷家忠
作品数: 3被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:机械工程

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毛平天
作品数:15被引量:8H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微量氧 微量水分 露点 露点仪 仪器
陆新根
作品数:11被引量:6H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微量氧 露点 仪器 微量水分 微量水