-
孔岑
-
-
- 所属机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
- 所在地区:江苏省 南京市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 周建军
- 作品数：75被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
- 研究主题：GAN_HEMT器件 势垒层 金属 金刚石 刻蚀
- 孔月婵
- 作品数：213被引量：135H指数：6
- 供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
- 研究主题：金刚石 衬底 键合 二维电子气 氮化镓
- 陈堂胜
- 作品数：411被引量：335H指数：9
- 供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
- 研究主题：高电子迁移率晶体管 氮化镓 砷化镓 GAN ALGAN/GAN_HEMT
- 郁鑫鑫
- 作品数：55被引量：12H指数：2
- 供职机构：南京电子器件研究所
- 研究主题：金刚石 欧姆接触 GAN_HEMT器件 刻蚀 金属
- 张凯
- 作品数：34被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
- 研究主题：势垒层 高电子迁移率晶体管 空气桥 肖特基二极管 金属
- n沟道和p沟道增强型GaN器件集成结构的制备方法
- 本发明公开了一种n沟道和p沟道增强型GaN器件集成结构的制备方法，包括：洁净衬底上进行高阻缓冲层、n沟道层、势垒层、p沟道层、插入层、p沟阈值调制层、p沟栅流抑制层的制作；n沟阈值调制层和n沟栅流抑制层再生长掩模的制作；...
- 周建军孔岑郁鑫鑫孔月婵
- 一种E/D集成的GaN HEMT器件制备方法
- 本发明是一种E/D集成的GaN HEMT器件制备方法。其工艺步骤包括在衬底上依次生长成核层、AlyGa1-yN缓冲层、GaN沟道层、AlxGa1-xN势垒层，构成常规AlGaN/GaN异质结构，然后再生长标定层，构成E/...
- 孔月婵周建军孔岑
- 文献传递
- 一种氮化镓刻蚀方法
- 本发明公开了一种氮化镓刻蚀方法，具体操作包括制备介质层；制备光刻胶掩膜刻蚀图形；制备介质掩膜刻蚀图形；去除光刻胶；在O<Sub>2</Sub>、Ar气氛下预刻蚀GaN；在Cl<Sub>2</Sub>、N<Sub>2</S...
- 孔岑周建军张凯郁鑫鑫
- 文献传递
- 一种GaN基异质结二极管及其制备方法
- 本发明公开了一种GaN基异质结二极管及其制备方法，所述二极管包括衬底；缓冲层，设置在衬底的上表面；沟道层，设置在缓冲层的上表面；势垒层，设置在沟道层的上表面；h‑BN/p‑GaN异质结，设置在势垒层的部分上表面；混合阳极...
- 王登贵周建军胡壮壮孔岑张凯陈堂胜
- 一种降低GaN HEMT器件欧姆接触电阻的方法
- 本发明是一种降低GaN？HEMT器件欧姆接触电阻的方法，包括1）GaN异质结材料上生长Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>和SiO<Sub>2</Sub>复合介质层；2）欧姆区域薄层Ni蒸发剥离；3）N...
- 周建军孔岑郁鑫鑫
- 文献传递
- GaN高电子迁移率晶体管复合介质绝缘栅的制造方法
- 本发明公开了一种GaN高电子迁移率晶体管复合介质绝缘栅的制造方法，其通过热氧化方法将AlGaN表面氧化为氧化铝，能够有效降低介质与半导体之间的界面态。通过选择合适的钛金属，提高了HEMT器件的跨导。整个制造工艺与现有Ga...
- 孔岑周建军孔月婵
- 文献传递
- 钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的湿法刻蚀方法
- 一种钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的加工方法，其特征是①在BST+BZN复合薄膜样品表面制备光刻胶掩膜图形；②配制刻蚀溶液：A为硝酸(HNO<Sub>3</Sub>)、氢氟酸(HF)、柠檬酸溶液(CA)的水溶液，B为盐酸(H...
- 李辉孔岑周建军陈辰张斌
- 一种GaN基高空穴迁移率晶体管及其制备方法
- 本发明公开了一种GaN基高空穴迁移率晶体管及其制备方法，其结构包含衬底、缓冲层、势垒层、沟道层、插入层、p‑GaN层、源极、漏极、栅极以及钝化介质层。本发明通过引入含Al组分插入层，一方面可提升p‑GaN层与沟道层间的刻...
- 王登贵周建军孔岑张凯戚永乐
- 电流调谐的集成磁膜微电感的制作方法和电感调谐方法
- 本发明公开了一种电流调谐的集成磁膜微电感的制作方法，包括如下步骤：制作控制极金属压块和金属导线；制作SiN(氮化硅)介质层；制作图形化的NiFe-SiOx磁性薄膜；制作SiN(氮化硅)介质层；制作介质孔；制作电感金属、互...
- 孔岑周建军陆海燕
- 文献传递
- 一种利用电镀工艺在GaN材料上制备细栅的方法
- 本发明公开了一种利用电镀工艺在GaN材料上制备细栅的方法，包括如下步骤：首先利用等离子体化学沉积方法在干净的AlGaN/GaN材料上生长SiN薄的介质保护层，然后利用电子束光刻工艺定义栅脚图形。利用反应离子刻蚀(RIE)...
- 周建军孔岑陈堂胜
- 文献传递
