李睿
作品数: 37被引量:16H指数:2
  • 所属机构:北京大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

胡晓东
作品数:87被引量:108H指数:6
供职机构:北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室
研究主题:GAN 氮化镓 GAN基激光器 氮化物 MOCVD
杨芳
作品数:93被引量:21H指数:3
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
张立
作品数:60被引量:0H指数:0
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 变化检测 长梁 压力计 机械可靠性
张大成
作品数:246被引量:425H指数:10
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
张国义
作品数:382被引量:509H指数:11
供职机构:北京大学
研究主题:氮化镓 GAN MOCVD 发光二极管 衬底