-
关秉羽
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:沈阳市北宇真空设备厂
- 所在地区:辽宁省 沈阳市
- 研究方向:一般工业技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 李国卿
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:103被引量:262H指数:8
- 供职机构:大连理工大学
- 研究主题:离子注入 离子束 等离子体 磁控溅射 类金刚石碳膜
- 牟宗信
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:98被引量:171H指数:8
- 供职机构:大连理工大学
- 研究主题:磁控溅射 等离子体 非平衡磁控溅射 离子束 离子注入
- 李剑锋
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:42被引量:38H指数:4
- 供职机构:大连交通大学材料科学与工程学院
- 研究主题:磁控溅射 集热管 太阳能 耐蚀性 化学镀镍
- 田修波
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:371被引量:558H指数:12
- 供职机构:哈尔滨工业大学
- 研究主题:离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 磁控溅射 空心阴极
- 张成武
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:8被引量:21H指数:3
- 供职机构:大连理工大学
- 研究主题:类金刚石膜 等离子体制备 磁控溅射 非平衡磁控溅射 类金刚石碳膜