熊斌
作品数: 218被引量:197H指数:7
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

王跃林
作品数:721被引量:796H指数:14
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
徐德辉
作品数:98被引量:23H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
车录锋
作品数:158被引量:306H指数:11
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 加速度计
冯飞
作品数:124被引量:52H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:色谱柱 固定相 热导检测器 微机电系统 气相色谱柱
马颖蕾
作品数:25被引量:6H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 硅 键合工艺 透镜 塑性形变
微型热电能量收集器及其制作方法
本发明提供一种微型热电能量收集器及其制作方法,在低阻硅衬底上制作环状沟槽以围成硅热电柱结构,然后在环状沟槽制作绝缘层,再对其填充热电材料以形成环形热电柱结构,然后制作金属布线、保护层以及支撑衬底等以完成制作。本发明的硅热...
徐德辉熊斌王跃林
文献传递
一种微机械磁场传感器及其制备方法
本发明提供一种微机械磁场传感器及其制备方法,属于微机电系统领域。该方法通过在器件结构层上沉积一具有接触孔的牺牲层,然后在所述牺牲层上制备金属线圈,接着腐蚀掉所述牺牲层,最后利用干法刻蚀制作出器件结构,并将器件结构进行释放...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法
本发明涉及一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法,其特征在于在非致冷热电堆红外探测器中的红外吸收区上制作了一个微型加热器。由于微型加热器的制作工艺与热电堆的制作工艺完全兼容,两者实现了同一芯片集成。利用微型加热器对封装后红...
熊斌徐德辉王跃林
文献传递
一种硅柱通孔互连结构及其制作方法
本发明提供一种硅柱通孔互连结构及其制作方法,该结构包括第一硅片以及与该第一硅片键合的第二硅片;所述第一硅片和第二硅片键合后接触孔部分形成用于电连接的硅柱通孔结构和非接触孔部分形成金属环的密封结构;所述硅柱通孔结构上的金属...
熊斌 蒋万里徐德辉王跃林马颖蕾
文献传递
基于金诱导非晶硅结晶的低温键合方法
本发明提供一种基于金诱导非晶硅结晶的低温键合方法,首先在上基板的键合面上制备出氧化硅层,在氧化硅层上依次蒸发或溅射出钛、金膜,并去除非键合区域的钛、金膜;其次在下基板的键合面上制备出氧化硅层及非晶硅层,在非晶硅层上依次蒸...
熊斌刘米丰王跃林徐德辉
文献传递
光学读出热成像焦平面阵列的制作技术
光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研...
冯飞李珂杨广立闫许熊斌王跃林
关键词:焦平面阵列
文献传递
一种微型角速度传感器及其制作方法
本发明涉及微型角速度传感器及其制作方法。传感器由第一基板及其上的两组检测用交叉梳齿状固定对电极、固定于第一基板上的中央锚点和两侧锚点、第二基板的上表面的中点电极、悬于第一基板上方的可沿第一方向运动的两组全同且对称的驱动质...
焦继伟陈永熊斌王跃林
文献传递
栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究被引量:4
2003年
主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响。在0.01-200°/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01°/s的输入角速度变化。考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10°/s时,整个系统即无法分辨0.01°/s的输入角速度变化。针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题。
付盛荣熊斌车录锋王跃林
关键词:栅结构微陀螺分辨率
微机械磁场传感器及其应用
本发明提供一种微机械磁场传感器及其应用,所述微机械磁场传感器至少包括:谐振振子对和依次形成于其表面上的绝缘层及金属线圈。本发明利用差分电容激励和电磁感应来测量磁场大小,其中,构成谐振振子对的两个谐振振子结构工作在反相位模...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
文献传递
L形梁压阻式微加速度计及其制作方法
本发明涉及一种L梁压阻式微型加速度计及其制作方法,包括支撑主框架体、弹性梁、质量块、盖板等,其特征在于所述的汤型梁呈L形,L形弹性梁的长臂与支撑主框架体的边框相连,质量块通过L形弹性梁支撑悬于支撑边框体的中间,L形弹性梁...
熊斌高廷金车录锋王跃林
文献传递