-
许静
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:中国科学院“百人计划”
相关作者
- 罗军
- 作品数：465被引量：33H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
- 唐波
- 作品数：186被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
- 闫江
- 作品数：185被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
- 唐兆云
- 作品数：75被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
- 王红丽
- 作品数：48被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：半导体器件 衬底 集成度 刻蚀 埋氧层
