-
张庆钊
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 夏洋
- 作品数：501被引量：61H指数：4
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 李楠
- 作品数：133被引量：19H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
- 李勇滔
- 作品数：197被引量：22H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
- 席峰
- 作品数：27被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：启辉 电极 等离子体 等离子刻蚀 进气结构
- 卢维尔
- 作品数：118被引量：31H指数：4
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
