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张金龙
作品数:102被引量:350H指数:10
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刘京南
作品数:71被引量:351H指数:9
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孙薇
作品数:5被引量:16H指数:3
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研究主题:CMP 化学机械抛光 磨料 SIO2 CU
刘玉岭
作品数:481被引量:752H指数:13
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研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI