搜索到 篇“ SUBSTRATES “的相关文章

相关作者

赵万顺
作品数：134被引量：31H指数：4
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：碳化硅 3C-SIC 衬底 外延层 4H-SIC
孙方宏
作品数：198被引量：475H指数：13
供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题：金刚石薄膜 金刚石涂层 金刚石 热丝化学气相沉积 硬质合金
曾一平
作品数：583被引量：308H指数：8
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：分子束外延 衬底 碳化硅 氮化镓 缓冲层
高欣
作品数：14被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：4H-SIC 化学气相沉积 LPCVD RAMAN SIC
王新昶
作品数：30被引量：42H指数：4
供职机构：上海交通大学
研究主题：HFCVD 金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 金刚石涂层 硼掺杂