搜索到 篇“ SOI晶圆 “的相关文章

相关作者

戴显英
作品数：249被引量：185H指数：8
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：晶圆 应变SI 绝缘层 SIGE BICMOS
张鹤鸣
作品数：478被引量：271H指数：9
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：应变SI BICMOS 双极器件 多晶 光刻
郝跃
作品数：2,494被引量：1,198H指数：13
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：势垒层 电极 场板 高电子迁移率晶体管 氮化镓
李晓莹
作品数：81被引量：226H指数：9
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
孙瑞康
作品数：11被引量：11H指数：2
供职机构：西北工业大学
研究主题：SOI晶圆 微细加工 微机械 微机电系统 衍射特性