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基于UTB-SOI技术的双辅助触发SCR ESD防护器件研究
2023年
为了提高FDSOI ESD防护器件的二次击穿电流,基于UTB-SOI技术,提出了一种SOI gg-NMOS和寄生体硅PNP晶体管双辅助触发SCR器件。通过gg-NMOS源区的电子注入和寄生PNP晶体管的开启,共同辅助触发主泄放路径SCR,快速泄放ESD电流。TCAD仿真结果表明,新结构能够泄放较高的二次击穿电流,具有可调节的触发电压。
张效俊成建兵李瑛楠孙旸吴家旭
关键词:静电放电
基于UTB-SOI技术的ESD防护单元研究
随着集成电路的不断发展,当工艺特征尺寸缩小到28 nm制程以下时,超薄体绝缘层上硅(Ultra-Thin-Body Silicon-On-Insulator,UTB-SOI)器件凭借其独特的背栅偏置、较小的寄生电容以及良...
张效俊
关键词:静电放电
高温SOI技术的发展现状和前景被引量:3
2022年
高温绝缘层上硅(SOI)技术突破了体硅半导体器件的高温困境,已被广泛应用于石油天然气钻探、航空航天和国防装备等尖端领域。近年来,第三代宽禁带半导体功率器件已日趋成熟和普及,其中SiC器件以其先天的耐高压、耐高温等特性,与高温SOI器件是非常理想的搭配,适用于原本体硅半导体功率器件难以实现或根本不能想象的应用场景,为系统应用设计者提供了全新的拓展空间。在简述体硅半导体器件高温困境的基础上,综述了高温SOI技术的发展现况,并探讨了其未来的发展方向和应用前景。
罗宁胜曹建武
关键词:体硅绝缘层上硅SIC
SOI技术及产业发展研究
2022年
SOI技术作为一种全介质隔离技术,有着许多体硅器件不可比拟的优势,如功耗低、速度快、抗干扰强、集成度高等特点。经过几十年的发展,SOI技术逐渐受到产业界的关注和重视,被广泛运用到无线通信、汽车电子、边缘计算、电源管理等领域。对SOI结构原理和制备技术进行了介绍,从发展历程、行业应用、生态建设等方面对RF-SOI和FD-SOI的产业化应用情况进行了研究和分析,并针对性地提出了当前SOI产业面临的主要风险和挑战。
李博文孟静李娟
关键词:SOI射频集成电路
SOI技术中的NVM装置以及制造相应装置的方法
本发明涉及SOI技术中的NVM装置以及制造相应装置的方法,在一个态样中,本发明提供一种半导体装置,其包括:衬底结构,包括形成于基础衬底上方的主动半导体材料以及形成于该主动半导体材料与该基础衬底之间的埋置绝缘材料;铁电栅极...
史芬·拜耳马丁·特瑞史奇史帝芬·费拉候史奇A·亨克
文献传递
FD-SOI技术产业链及市场简析被引量:2
2019年
超薄基体埋氧全耗尽绝缘层基硅(Ultra Thin body and BOX- Fully Depleted - silicon on insulator,UTBB-FD-SOI,以下简称FD-SOI),是一种基于两大创新来实现平面晶体管结构的工艺技术:一是,在体硅中引入了超薄的埋氧(BOX)层,作为绝缘层;二是,用超薄的顶硅层制造出全耗尽的晶体管沟道。FD-SOI最大的特点是可以在无需全面改造设备结构、完整性和生产流程的前提下实现摩尔定律下的芯片面积微缩、能耗节省、性能提升及功能拓展。FD-SOI晶体管的结构如图1所示。
朱雷
关键词:SOI技术产业链晶体管芯片面积
使用SOI技术的混合丛库追迹设计的方法、设备及系统
本发明涉及使用SOI技术的混合丛库追迹设计的方法、设备及系统。本发明的至少一种方法、设备及系统涉及提供用于制造半导体装置的设计。在电路布局上置放具有第一宽度的第一功能胞元。判定第一功能胞元的至少一个晶体管是否为顺偏或逆偏...
A·米塔尔M·拉希德
文献传递
一种基于SOI技术的MEMS电容式压力传感器被引量:6
2018年
利用绝缘体上硅(SOI技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统(MEMS)电容式压力传感器。利用有限元分析软件对传感器敏感结构进行了结构建模、静力和模态仿真分析。敏感结构为敏感电容和参考电容差动输出形式,可以有效减小温度漂移和重力误差对压力测量准确度的影响。比较了无岛和有岛两种敏感膜的性能差异。为了提高传感器性能,利用成熟的MEMS加工工艺制作了SOI敏感电容极板,并利用硅-硅键合工艺实现了真空腔体。传感器采用标准塑封封装后,采用高低温压力测量系统进行了性能测试。测试结果表明,传感器量程达到30-120 kPa,非线性0.04%-0.09%,分辨率1 Pa。
卞玉民杨拥军
关键词:电容式压力传感器
SOI技术中的NVM装置以及制造相应装置的方法
本发明涉及SOI技术中的NVM装置以及制造相应装置的方法,在一个态样中,本发明提供一种半导体装置,其包括:衬底结构,包括形成于基础衬底上方的主动半导体材料以及形成于该主动半导体材料与该基础衬底之间的埋置绝缘材料;铁电栅极...
史芬·拜耳马丁·特瑞史奇史帝芬·费拉候史奇A·亨克
RF-SOI技术应对RF技术革新被引量:4
2017年
2017国际RF-SOI论坛在上海召开。这次举办的2017国际RF-SOI论坛,是由上海新敖科技和国际SOI产业联盟共同主办,延续了2016年"物联网与5G"的主题,邀请了来自国内外的多位专家介绍国际最先进的RF-SOI技术和市场动态及趋势,推动国内RF-SOI产业链的健康发展。本次论坛的主题是讨论在产业链各个环节建立SOI生态系统。
刘燚
关键词:集成电路制造产业生态系统

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揣荣岩
作品数:142被引量:113H指数:5
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:应变电阻 沟道 压力传感器 晶体管 迁移率
林成鲁
作品数:249被引量:547H指数:13
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
张兴
作品数:872被引量:586H指数:12
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 集成电路 沟道 电路 锗
赵玉龙
作品数:597被引量:395H指数:11
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 MEMS 传感器 硅 芯片
王阳元
作品数:465被引量:777H指数:13
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路