搜索到 篇“ MEMS麦克风 “的相关文章

相关作者

潘华兵
作品数：94被引量：0H指数：0
供职机构：杭州士兰微电子股份有限公司
研究主题：MEMS麦克风 极板 声腔 膜片 电流源
胡铁刚
作品数：210被引量：0H指数：0
供职机构：杭州士兰微电子股份有限公司
研究主题：MEMS麦克风 信号处理电路 极板 声腔 衬底
郑泉智
作品数：65被引量：0H指数：0
供职机构：杭州士兰微电子股份有限公司
研究主题：MEMS麦克风 极板 声腔 膜片 灵敏度
袁超
作品数：48被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：牺牲层 空气隙 MEMS麦克风 振动膜 介质层
康晓旭
作品数：433被引量：6H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构