搜索到 篇“ LITHOGRAPHY “的相关文章

相关作者

王丽萍
作品数:147被引量:123H指数:7
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
张萍萍
作品数:10被引量:17H指数:3
供职机构:同济大学
研究主题:原子光刻 蒙特卡罗方法 激光驻波场 激光光学 激光技术
张卫新
作品数:138被引量:176H指数:8
供职机构:合肥工业大学
研究主题:正极材料 锂离子电池 锂 电化学性能 磷酸铁锂
王力元
作品数:92被引量:57H指数:4
供职机构:北京师范大学化学学院
研究主题:光产酸剂 光致抗蚀剂 光刻胶 缩醛 I
韩汝琦
作品数:160被引量:132H指数:6
供职机构:北京大学
研究主题:MOS晶体管 掺杂 存储器 半导体 自对准