搜索到963篇“ 超低介电常数“的相关文章
- 低/超低介电常数聚酰亚胺的研究进展
- 2024年
- 聚酰亚胺(PI)是综合性能最佳的有机高分子材料之一,被认为是最具潜力的柔性电子器件基材。下一代电子元器件正向低维度、大规模及精细化集成发展,对作为层间绝缘材料的PI提出了更高的要求,而普通芳香族PI介电常数偏高,无法直接应用于微电子工业领域。因此,当前急需开发降低PI材料介电常数的新方法。本文综述了近年来低/超低介电常数PI的相关研究和系统性工作,希望这些综合性归纳能为低、超低介电常数PI的构筑提供新方案,也为PI的加工工艺提供新的视角。
- 李欣膂梁昊陈婷徐伊凡陈嘉敏刘学清陈风刘继延
- 关键词：聚酰亚胺多孔结构
- 一种超低介电常数PC树脂改性材料的制备方法
- 本发明涉及高分子材料技术领域，尤其涉及一种超低介电常数PC树脂改性材料的制备方法，通过将PC树脂、玄武岩纤维、偶联剂、抗氧剂、超支化聚碳酸酯、掺杂二氧化硅和光稳剂在高速混合机中塑化共混后挤出、冷却、造粒得到；所述改性剂是...
- 赵振华唐培张治文王建郑亚
- 超低介电常数的硅基微波介质陶瓷的制备方法
- 本发明提供了一种超低介电常数的硅基微波介质陶瓷，上述硅基微波介质陶瓷以化学式为xBaO‑yMgO‑zAl<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>‑kSiO<Sub>2</Sub>的化合物制得，其主晶相的化学表达...
- 杜康雷文汪胜祥周梦蝶温泰来刘哲宇
- 一种超低介电常数的微发泡聚酰亚胺层状膜
- 本发明提供了一种具有超低介电常数的聚酰亚胺微发泡层状薄膜，主要利用含氟的异氰酸酯或异硫氰酸酯单体，与4,4‑间苯二甲酰二邻苯二甲酸二酐和其他酸酐反应，先生成前驱体，然后在超声作用及氮气保护下，升温发泡。由于基质内氟元素的...
- 徐勇汤学妹陈坚蒋家祥
- 现代通信用超低介电常数微波介质材料及其制备方法
- 本发明公开了一种现代通信用超低介电常数微波介质材料及其制备方法，属于微波介质材料制备工艺技术领域。发明通过调整主要组分和微量添加剂的比例，改善微波介质材料的电性能，在本发明的制备工艺条件下，可以得到ε<Sub>r</Su...
- 胡道甫
- 超低介电常数的多孔F-pSiCOH薄膜制备及其紫外固化处理
- 2024年
- 面向高性能集成电路可靠性设计要求之下,开展以硅集成电路(IC)三维集成器件超低介电常数的介电薄膜研究。采用化学气相沉积法制备了一种超低介电常数(k)值的多孔F-pSiCOH薄膜。利用傅里叶变换红外光谱测定了多孔F-pSiCOH薄膜的化学结构和化学键,并探究了紫外线辐射对多孔F-pSiCOH薄膜机械性能的影响。结果表明:纳米孔和氟原子的引入能有效地降低介电常数,使多孔F-SiCOH薄膜的k值为2.15。紫外固化处理增强了多孔F-pSiCOH薄膜的弹性模量,使多孔F-pSiCOH薄膜的弹性模量从4.84GPa增大到5.76GPa,力学性能得到优化。
- 陈云
- 关键词：硅集成电路紫外固化
- 一种超低介电常数的透明聚酰亚胺纳米复合膜及制备方法
- 一种具有超低介电常数透明聚酰亚胺纳米复合膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1：将可溶性聚酰亚胺粉末溶解于有机溶剂A中，搅拌溶解后，得到聚酰亚胺溶液；步骤2：将步骤1得到的所述聚酰亚胺溶液使用静电纺丝设备进行静电纺丝，得到聚...
- 陈风李欣膂徐伊凡刘学清刘继延
- 一种超低介电常数薄膜的制备方法
- 本发明提供了一种超低介电常数薄膜的制备方法，包括步骤：Sa，向具有基底的反应腔中，间隔通入硅氧烷基分子气体和碳氢有机大分子碳氢气体，在所述基底上形成基础材料；以及Sc，间隔通入硅氧烷基分子气体和氧气或含氮气体，以所述基础...
- 丁士进朱宝徐雯龙张卫
- 超低介电常数介电层及形成其的方法
- 本发明概念的实施例提供形成超低介电常数介电层的方法及由所述方法形成的超低介电常数介电层。所述方法可包括：通过供应包含硅、氧、碳及氢的前驱体来形成第一层；对所述第一层执行第一紫外线工艺，以将所述第一层转换成第二层；以及在不...
- 姜允姬金志英任台镇白宗玟安商燻吴赫祥韩奎熙
- 超低介电常数聚芳酯薄膜的制备及性能研究
- 为了满足5G通信技术和半导体工业的市场需求,具有更低介电常数、更高耐热性的聚合物材料成为当前的研究热点。聚芳酯(polyarylate,PAR)是一种具有卓越性能的工程塑料,其主链上含有苯环和酯键,具有低介电、耐高温、低...
- 陈田恬
- 关键词：聚芳酯低介电常数多孔耐热
相关作者
- 苏和平
- 作品数：407被引量：0H指数：0
- 供职机构：桂林理工大学
- 研究主题：SUB 微波介电陶瓷 品质因数 光催化剂 预烧
- 唐莹
- 作品数：399被引量：10H指数：2
- 供职机构：桂林理工大学
- 研究主题：SUB 微波介电陶瓷 品质因数 光催化剂 可见光照射
- 李纯纯
- 作品数：250被引量：26H指数：4
- 供职机构：桂林理工大学
- 研究主题：SUB 微波介电陶瓷 品质因数 预烧 超低介电常数
- 方亮
- 作品数：769被引量：7H指数：2
- 供职机构：桂林理工大学
- 研究主题：SUB 微波介电陶瓷 光催化剂 品质因数 可见光响应
- 段炼
- 作品数：146被引量：2H指数：1
- 供职机构：桂林理工大学
- 研究主题：SUB LT 微波介电陶瓷 预烧 超低介电常数
