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张苗
作品数:307被引量:37H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
狄增峰
作品数:254被引量:21H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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王曦
作品数:532被引量:250H指数:9
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
薛忠营
作品数:202被引量:171H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 石墨烯 绝缘体 弛豫 键合
何珂
作品数:47被引量:41H指数:4
供职机构:清华大学
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