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- 郭道友贺怀乐胡海争吴超王顺利朱羽晨王宇超马超群
- 一种等离子增强化学气相沉积系统的进气结构
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- 邹杨孙蕾邹松东
- 等离子增强化学气相沉积制备氮化硅薄膜的工艺优化与性能
- 2023年
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- 张志坤占勤窦志昂白敬元杨洪广
- 关键词：等离子增强化学气相沉积氮化硅致密度均匀性
- 一种自调平等离子增强化学气相沉积装置
- 本发明公开了一种自调平等离子增强化学气相沉积装置，涉及半导体技术领域。该自调平等离子增强化学气相沉积装置包括沉积腔室、加热板和绝缘球。加热板和绝缘球均设置于沉积腔室内，沉积腔室具有一底板，底板与加热板平行间隔设置，绝缘球...
- 戴建波陆北源
- 一种等离子增强化学气相沉积腔室的清洗方法
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- 刘自明崔虎山邹志文蒋中原车东晨王珏斌陈璐许开东
- 一种自调平等离子增强化学气相沉积装置
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- 一种等离子增强化学气相沉积装置和沉积方法
- 本发明公开了一种等离子增强化学气相沉积装置和沉积方法，涉及气相沉积技术领域。该装置包括框架、气箱、射频匹配器、气体分配机构及沉积机构；射频匹配器与气箱连通，用于处理气箱输出的气体；气体分配机构用于接收射频匹配器处理后的气...
- 孙文彬刘龙龙
- 一种等离子增强化学气相沉积装置及其沉积方法
- 本发明公开了一种等离子增强化学气相沉积装置及其沉积方法，涉及半导体技术领域。该等离子增强化学气相沉积装置包括沉积室、盖板、测量机构、加热盘、喷气盘和升降机构。盖板盖设于沉积室上，且共同围成沉积空腔，升降机构安装于盖板上，...
- 戴建波刘龙龙
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- 孙文彬刘龙龙
