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等离子体被引量：1
2013年
由离子和电子为主构成的物质状态，称为等离子体。高温等离子体指的是电子与离子的温度都在百万摄氏度以上，并且气体中所有的原子几乎都被电离。所以，把高温等离子体又称为完全电离等离子体。如果产生等离子体的气体元素是较重的元素像氩、氧、氮和乙炔等。这时较重元素的离子温度较低，一般在十万摄氏度以下，并且是非完全电离的。我们把这团由电子、离子和中性原子，甚至中性分子、自由基混合而成的等离子体称为低温等离子体。应用等离子体刻蚀技术在硅片上能刻出非常狭的沟漕，从而制造出大规模集成电路。
朱兴尧
关键词：等离子体刻蚀技术受控热核聚变托卡马克
等离子体装置
本发明提供能够进行与漏电电流的产生状况对应的通知的等离子体装置。本公开的等离子体装置具备：电极，通过放电而产生等离子体；电源装置，生成向电极供给的电力；电力线缆，从电源装置向电极供给电力；漏电检测装置，检测电力线缆的漏电...
泷川慎二神藤高广
等离子体处理装置
本发明的等离子体处理装置包括馈电线圈、受电线圈、至少一个金属壳体和至少一个铁氧体部件。馈电线圈设置在等离子体处理腔室的外部。受电线圈与蓄电部电连接，能够通过电磁感应耦合从馈电线圈接收电功率。至少一个金属壳体能够提供屏蔽空...
永岛望吉越大祐山形邦彦
等离子体处理装置
本发明的等离子体处理装置包括馈电线圈、受电线圈和至少一个驱动系统。馈电线圈设置在等离子体处理腔室的外部。受电线圈与蓄电部电连接，能够通过电磁感应耦合从馈电线圈接收电功率。至少一个驱动系统能够使馈电线圈和受电线圈中的至少一...
永岛望吉越大祐山形邦彦
等离子体处理装置
本发明提供一种能够获得均匀的等离子体空间的等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：处理容器、载置台、遮护部件、开口用的可升降的闸门、第1驱动部和第2驱动部。处理容器具有侧壁，在该侧壁形成有被处理体的搬入搬出用的输送通路。...
砂金优
等离子体处理装置
一种等离子体处理装置，包括：反应腔；气体喷淋头，设于所述反应腔的顶部；下电极组件，设于所述反应腔内的底部，所述下电极组件与所述气体喷淋头相对设置；导电的移动环，设于所述气体喷淋头的外围，可上下移动；接地的等离子体约束环，...
张一川田宁叶如彬
一种等离子体装置
本申请提供了一种等离子体装置，包括：反应器和软管；反应器包括气体入口、喷口和电极；电极用于连接电源，气体入口用于连接反应气体，反应器用于产生等离子体；喷口连接软管的第一端，软管的第二端用于喷出等离子体射流。本申请提供的等...
闫旭李储忠
等离子体处理装置
本发明的等离子体处理系统包括第一等离子体处理装置和第二等离子体处理装置。第一等离子体处理装置和第二等离子体处理装置各自包括等离子体处理腔室、基片支承部、电功率消耗部件、接地框、蓄电部、受电线圈、和整流平滑部。接地框与等离...
永岛望吉越大祐山形邦彦
等离子体处理装置
本发明实现一种能够简易地调整天线的高度的等离子体处理装置。等离子体处理装置(1)包括：外侧罩(20)，以将设置于壳体(10)的第一开口部(12)闭塞的方式安装于壳体；内侧罩(30)，将处理室(11)与外侧罩之间分割；天线...
藤原将喜酒井敏彦东大介
等离子体生发梳
本发明公开了一种等离子体生发梳，包括壳体和等离子体发生组件，壳体具有安装腔，安装腔内安装有主控板。等离子体发生组件包括PCB板、电导线以及隔离套，电导线与主控板电性连接并向上延伸至壳体外部，PCB板设置于电导线的上端并与...
张让明
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李坚
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研究主题：辉光放电 辉光 辉光放电等离子体 SUB 高压直流电源
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作品数：199被引量：692H指数：14
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陆泉芳
作品数：125被引量：285H指数：12
供职机构：西北师范大学
研究主题：辉光放电 辉光 辉光放电等离子体 高压直流电源 SUB
成军虎
作品数：145被引量：170H指数：8
供职机构：华南理工大学
研究主题：冷等离子体 低温等离子体 食品品质 新鲜度 保鲜