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离子镀被引量：1
1989年
离子镀是在真空条件下,应用气体放电实现镀膜,即在真空室中使气体或被蒸发物质离化,在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应产物蒸镀在基片上。离子镀把辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜技术结合在一起,不仅明显地提高了镀层的各种性能,而且大大地扩充了镀膜技术的应用范围。
田民波
关键词：离子镀镀膜
一种离子镀陶瓷工艺品
本实用新型涉及一种离子镀陶瓷工艺品，具体为一种离子镀陶瓷工艺品，包括离子镀陶瓷工艺品主体、工艺品主体支撑台和透明防护罩，所述离子镀陶瓷工艺品主体放置在工艺品主体支撑台的顶面，且工艺品主体支撑台的顶部嵌入安装有透明防护罩，...
郑晟亮郑衍彬郑泽洽郑圻增
一种离子镀膜源装置
本实用新型属于离子镀膜源技术领域，具体的一种离子镀膜源装置，包括离子靶材极、真空泵和观察窗，还包含旋转台，旋转台的底面固定连接转动齿轮的顶面，转动齿轮的底面固定连接轴承底座的顶端，轴承底座的底座固定连接镀膜台的顶面，镀膜...
向海洋李庆国
一种离子镀膜源装置
本实用新型涉及一种离子镀膜源装置，包括用于固定靶材的转动安装的冷却安装座、以及与冷却安装座相连接且同步转动的冷却循环组件，冷却循环组件、冷却安装座均用于组成冷却液循环回路，冷却组件和冷却安装座均与电源阴极相连接。本实用新...
张心凤夏正卫汪鹏张春福储呈琰
中央电弧离子镀蒸镀装置
本发明提供一种中央电弧离子镀蒸镀装备，其中，包括：真空腔室；圆柱形目标部件，其上下配置在真空腔室的中心部并接受供电，释放目标物质；喷气手段，其将输送工艺气体的气体输送部输送的工艺气体喷入真空腔室内，以便于在真空腔室内生成...
鞠亨元
一种多弧离子镀镀膜装置
本实用新型涉及电弧离子镀技术领域，具体公开了一种多弧离子镀镀膜装置，包括真空室，真空室的侧壁构成八边形，设置在真空室侧壁上的靶材固定框以及设置在靶材固定框的多个靶材。本实用新型使得靶材更加紧凑，使得等离子体能够更加均匀地...
陈瑶瑶谭卓鹏钟志强邱联昌高亚伟周贤杰殷磊胡伟军廖星文
一种磁控电弧离子镀复合沉积设备
本实用新型提供一种磁控电弧离子镀复合沉积设备，包括密封舱室，所述的密封舱室的后端安装有密封舱门，密封舱室的内侧上部螺栓固定有安装间隔板，其特征在于，所述的安装间隔板的下部安装有工件旋转支架，安装间隔板的上部右侧螺栓固定有...
郑立冬夏晓谦曾庆熙张燕娇盛永利
一种玻璃器皿加工用离子镀装置
本实用新型公开了一种玻璃器皿加工用离子镀装置，涉及玻璃器皿加工技术领域，现提出如下方案，包括主体，所述主体的底部设置有底座，所述底座的内部安装有电机，所述电机的输出端连接有转盘座，且转盘座与底座之间为转动连接，所述转盘座...
王乃卫
一种五金制品离子镀膜设备及其工艺
本发明提供一种五金制品离子镀膜设备及其工艺，涉及镀膜技术领域，包括：镀膜罐体，所述镀膜罐体的底部一侧安装有伺服电机，镀膜罐体底部伺服电机的输出端上安装有齿轮；所述镀膜罐体的底部安装在固定底座的顶部；所述镀膜罐体的内侧顶部...
张应谋马军黄凌云
一种螺丝螺帽加工用等离子镀膜机
本实用新型涉及等离子镀膜机技术领域，且公开了一种螺丝螺帽加工用等离子镀膜机，包括等离子镀膜机本体，所述等离子镀膜机本体的内侧固定连接有等离子镀膜机构，所述等离子镀膜机本体和等离子镀膜机构的内部均固定开设有矩形通孔，并矩形...
秦志梅
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孙超
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宫骏
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供职机构：中国科学院金属研究所
研究主题：电弧离子镀 靶材 磁控 改性 涂层
肖金泉
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供职机构：中国科学院金属研究所
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