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激光直写装置
本公开提供了一种激光直写装置，包括：激光产生装置、探测单元、直写单元、三维移动台以及控制器。激光产生装置适用于产生第一激光束和第二激光束，第二激光束适用于扫描样品使得样品发出激发光束。探测单元包括探测器，探测器适用于获得...
夏慷蔚张瀚宇苏佳杜江峰
激光直写装置
本实用新型提供了一种激光直写装置，承载台用于承载一待加工掩模板，所述待加工掩模板包括透明基板及位于所述透明基板上的金属减反层；载台驱动器用于驱动所述承载台沿移动路径移动；直写光源用于发出飞秒激光并照射至所述金属减反层上，...
任雨萌林岳明
光学装置及飞秒激光直写系统
本实用新型公开了一种光学装置及飞秒激光直写系统，所述光学装置包括：光源部、空间光调制器、相位图及载物台，所述光源部用于发出激光；所述相位图加载至所述空间光调制器，所述空间光调制器及所述相位图作用于入射激光，并将激光调制为...
史长坤金贤敏
一种激光直写装置及激光直写方法
本发明涉及一种激光直写装置及激光直写方法，在光路传播方向上依次包括激光器、偏振相位联合调制模块和扫描直写模块，其中，所述偏振相位联合调制模块在光路传播方向上依次包括第一半波片、偏振分光棱镜、第二半波片、涡旋波片和螺旋相位...
罗梦迪温积森朱大钊匡翠方詹刚垚
激光直写方法、控制设备及激光直写系统
本申请涉及一种激光直写方法、控制设备及激光直写系统，属于激光直写光刻技术领域，该方法包括：设定光刻的灰阶等级N、扫描像素步距M、灰阶曝光循环次数Q；将待加工的灰阶图像划分为复数个等宽度的图像条带；设定曝光时滑动提取窗口的...
朱鹏飞浦东林张瑾朱鸣邵仁锦王钦华徐顺达周文辉陈林森
光纤激光直写系统和光纤激光直写方法
本申请涉及一种光纤激光直写系统和光纤激光直写方法，其中，该光纤激光直写系统包括：发射模块、调整模块，光纤补偿模块、光栅补偿模块、光纤分束模块以及空间光路模块。其中通过光纤补偿模块、光栅补偿模块实现对光纤分束模块和空间光路...
孙琦罗昊张娜孙秋媛匡翠方
一种用于激光直写系统的折射率原位测量装置
本发明公开了一种用于激光直写系统的折射率原位测量装置，属于激光加工技术应用领域；包括同光轴依次设置的激光器、第一凸透镜、第二凸透镜、第一分束镜、第二分束镜、样品、第一物镜、第一合束镜、第一相机镜头和第一相机；第三分束镜，...
王凯歌张琛蔺家琪王融雪白晋涛
一种激光直写显影图像修正方法、系统及相关设备
本发明实施例提供了一种激光直写显影图像修正方法、系统及相关设备，在不改变激光器功率的情况下修正激光直写图像的视觉偏差。本发明实施例方法包括：在所述激光阵列根据目标图像中的激光曝光点对曝光面进行曝光之后，对显影之后的显影图...
陈乃奇胡学艳
一种激光直写显影图像模拟方法、系统及相关设备
本发明实施例提供了一种激光直写显影图像模拟方法、系统及相关设备，用于模拟激光直写形成的显影图像，节约开发验证所需的时间和成本。本发明实施例方法包括：将原始图像中的激光曝光点依次采用所述光斑图像替换得到标准图像；获取各颗激...
陈钢彭亮
一种基于多焦点超透镜的飞秒激光直写系统
本发明公开了一种基于多焦点超透镜的飞秒激光直写系统，属于激光加工技术领域，包括：飞秒激光器，用于出射飞秒激光；光路调制组件，对飞秒激光的偏振态、功率和偏转方向进行调制，得到调制激光；多焦点超透镜，用于聚焦调制激光并在光刻...
高辉王星儿熊伟范旭浩刘耘呈许可陈发钰李大千余轩
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匡翠方
作品数：385被引量：159H指数：7
供职机构：浙江大学
研究主题：超分辨 荧光 显微成像 位相 物镜
陈林森
作品数：289被引量：336H指数：11
供职机构：苏州大学
研究主题：光栅 衍射 显示装置 光刻 激光直写
刘前
作品数：68被引量：0H指数：0
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：激光直写 金属薄膜 激光直写系统 基底 狭缝
杜春雷
作品数：613被引量：634H指数：13
供职机构：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题：石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
曾晓雁
作品数：707被引量：1,950H指数：23
供职机构：华中科技大学
研究主题：激光 激光熔覆 激光加工 激光技术 增材制造