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刘正坤
作品数：103被引量：118H指数：6
供职机构：中国科学技术大学
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付绍军
作品数：198被引量：361H指数：9
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
徐向东
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供职机构：中国科学技术大学
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洪义麟
作品数：186被引量：402H指数：11
供职机构：中国科学技术大学
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