搜索到 篇“ 极紫外光刻 “的相关文章

相关作者

李艳秋
作品数：440被引量：334H指数：11
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
金春水
作品数：356被引量：268H指数：8
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
王骐
作品数：710被引量：1,516H指数：19
供职机构：湖北第二师范学院
研究主题：激光雷达 毛细管放电 图像处理 激光成像雷达 相干激光雷达
徐强
作品数：263被引量：482H指数：11
供职机构：东北林业大学理学院
研究主题：极紫外光刻 毛细管放电 光源 热障涂层 陶瓷
王向朝
作品数：825被引量：1,352H指数：19
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模