搜索到133篇“ 机械耦合误差“的相关文章
- 降低石英传感器件机械耦合误差的方法
- 本申请涉及石英传感器件制备的技术领域，具体涉及一种降低石英传感器件机械耦合误差的方法，包括以下步骤：Z切石英晶片上处理形成多个石英传感器芯片，得石英传感器晶片，其中，每一石英传感器芯片侧壁具有晶棱；石英传感器晶片进行镀膜...
- 阮翔宇钟院华廖翔詹超熊峰
- 一种石英音叉陀螺表头机械耦合误差测试系统及测试方法
- 本发明提供了一种石英音叉陀螺表头机械耦合误差测试系统及测试方法，该误差测试系统包括石英音叉陀螺表头、安装支架、至少一个机械振动单元、信号采集单元和控制单元，石英音叉陀螺表头与机械振动单元均设置在安装支架上，机械振动单元用...
- 王汝弢车一卓王永胜梁文华张鲁宇申燕超杨星辉
- 一种石英音叉陀螺表头机械耦合误差测试系统及测试方法
- 本发明提供了一种石英音叉陀螺表头机械耦合误差测试系统及测试方法，该误差测试系统包括石英音叉陀螺表头、安装支架、至少一个机械振动单元、信号采集单元和控制单元，石英音叉陀螺表头与机械振动单元均设置在安装支架上，机械振动单元用...
- 王汝弢车一卓王永胜梁文华张鲁宇申燕超杨星辉
- 文献传递
- 双质量硅微陀螺仪的机械耦合误差抑制装置与方法
- 本发明公开一种双质量硅微陀螺仪的机械耦合误差抑制装置与方法。该装置包括上下两层，上层为硅微陀螺仪的机械结构，下层为粘附有信号引线的玻璃衬底，陀螺仪的机械结构由左右对称放置的两个完全相同的子结构构成，两个子结构之间分别通过...
- 杨波邓允朋王行军胡迪吴磊
- 文献传递
- 石英微机电陀螺的机械耦合误差研究被引量：4
- 2018年
- 石英微机电陀螺是一种利用科里奥利(Coriolis)效应的振动陀螺,工作时敏感芯片处于谐振状态,机械耦合误差是其主要误差源。分析了敏感芯片机械耦合误差因素,提出了驱动与检测模态解耦设计、振动隔离设计及轴对称质量平衡设计改进方案,实验结果表明,通过改进设计,有效抑制了敏感芯片机械耦合误差,提高了陀螺的精度及环境适应性。
- 林日乐李文蕴张桐谢佳维蒋昭兴满欣江黎
- 关键词：石英机械耦合误差
- MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制装置
- 本实用新型公开一种MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制装置，该装置包括上下两层，上层为硅微陀螺仪的机械结构，下层为粘附有信号引线的玻璃衬底，陀螺仪的机械结构由左右对称放置的两个完全相同的子结构构成，两个子结构之间分别通过驱动...
- 杨波邓允朋王行军胡迪吴磊
- 文献传递
- 双质量硅微陀螺仪的机械耦合误差抑制装置与方法
- 本发明公开一种双质量硅微陀螺仪的机械耦合误差抑制装置与方法。该装置包括上下两层，上层为硅微陀螺仪的机械结构，下层为粘附有信号引线的玻璃衬底，陀螺仪的机械结构由左右对称放置的两个完全相同的子结构构成，两个子结构之间分别通过...
- 杨波邓允朋王行军胡迪吴磊
- 文献传递
- 硅微陀螺仪的机械耦合误差分析被引量：25
- 2008年
- 研究了硅微陀螺仪机械耦合误差的产生机理。以z轴硅微陀螺仪为研究对象,以动力学方程和矩阵理论为基础,分析了由于加工非理想性产生的不等弹性、阻尼不对称和质量不平衡产生误差的信号,建立了机械耦合误差信号的数学模型,并定量分析了z轴硅微陀螺仪样品的机械耦合误差信号。结果表明,机械耦合误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号,其中正交耦合误差为主要误差信号,且主要由不等弹性产生。最后,测试了z轴硅微陀螺仪的正交耦合误差信号为342.59°/s,且与理论结果相吻合。因此,抑制和补偿正交耦合误差是减小机械耦合误差的关键技术之一。
- 施芹裘安萍苏岩朱欣华
- 关键词：硅微陀螺仪机械耦合误差
- 集成式石英微机械陀螺质量块制作工艺研究
- 2023年
- 为了满足集成式陀螺芯片对高精度质量块的要求,该文采用电子束镀膜(EBPVD)工艺代替传统的电镀工艺,在石英微机械陀螺芯片音叉端部制作了厚约2μm的质量块,并对质量块厚度均匀性、对准精度一致性及膜层附着力进行了研究。首先,通过调整镀膜高度和角度以满足厚度精度要求;其次,为了保证对准精度,设计了掩膜夹具和位置调整夹具;最后,通过实验确定了最佳镀膜参数。此外,对制作的质量块进行了激光修调实验,经过修调后,陀螺机械耦合误差信号的幅值从初始的301.0 mV降至17.6 mV。
- 白顺风李贵龙张挺谢佳维董宏奎董宏奎胡爽曾庆海李睿杰简小娟
- 关键词：机械耦合误差
- 硅微陀螺仪零偏稳定性的优化被引量：7
- 2014年
- 为了进一步提高硅微陀螺仪的零偏稳定性,使其满足更高精度应用场合的需求,研究了硅微陀螺仪零偏稳定性优化技术。以典型Z轴硅微陀螺仪为例,对影响其零偏稳定性的主要因素:机械耦合误差、电路耦合误差、机械热噪声、接口电路噪声进行了完整分析,并从抑制零偏温度漂移及输出噪声两个角度提出了改善硅微陀螺仪零偏稳定性的设计原则。基于上述原则,优化设计了硅微陀螺仪的机械结构及接口电路。最后对所设计的硅微陀螺仪进行了零偏稳定性测试,以验证所提出优化设计原则的有效性。实验结果表明,4个测试组的硅微陀螺仪零偏输出均无明显漂移,且零偏稳定性在6(°)/h左右,达到了中等战术级水平。
- 赵阳裘安萍施芹夏国明赵健
- 关键词：硅微陀螺仪零偏稳定性机械耦合误差
相关作者
- 杨波
- 作品数：257被引量：303H指数：9
- 供职机构：教育部
- 研究主题：加速度计 硅微陀螺仪 硅 谐振式加速度计 陀螺仪
- 吴磊
- 作品数：170被引量：379H指数：11
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：人工湿地 农村生活污水 水体 微生物燃料电池 氮磷
- 王行军
- 作品数：25被引量：7H指数：1
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：硅微陀螺仪 陀螺仪 玻璃衬底 解耦 毛发
- 胡迪
- 作品数：34被引量：9H指数：2
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：毛发 硅微陀螺仪 硅微传感器 玻璃衬底 陀螺仪
- 李文望
- 作品数：78被引量：101H指数：6
- 供职机构：厦门理工学院
- 研究主题：纳米纤维 电纺 静电纺丝 喷印 纳米纤维膜
