搜索到 篇“ 机械抛光 “的相关文章

相关作者

刘玉岭
作品数：481被引量：749H指数：13
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
路新春
作品数：355被引量：355H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
宋志棠
作品数：1,059被引量：351H指数：9
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
雒建斌
作品数：624被引量：1,164H指数：19
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
苏建修
作品数：252被引量：480H指数：11
供职机构：河南科技学院
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 捕集装置 抛光辊 滚切