搜索到1602篇“ 方块电阻“的相关文章
- 方块电阻测量装置及测量方法
- 本发明公开了方块电阻测量装置及测量方法，属于方块电阻测量技术领域。方块电阻测量装置包括框架、测厚模块及测量模块；测厚模块设于框架内，测厚模块用于检测晶圆和膜层的厚度；测量模块设于框架内，测量模块包括第一载台及探头，第一载...
- 唐秋逸相宇阳俞胜武陈剑
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- 一种固定宽度的单位方块电阻建模方法
- 本发明公开了一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，所述建模方法根据实际测试数据分析方块数与方块电阻的关系，进而得到具体的电阻模型公式以调节电阻模型，从而得到最终的电阻模型，本发明解决了已有电阻模型无法兼顾小方块数电阻的难题...
- 刘素吉王伟
- 一种精确控制ITO薄膜方块电阻的方法
- 本发明是关于一种精确控制ITO薄膜方块电阻的方法，其包括:控制载流子浓度和迁移率来调控电阻率，在ITO薄膜厚度偏差不变或变大的情况下，实现对ITO薄膜方块电阻的调控。本发明通过控制载流子浓度和迁移率，可以实现对电阻率的调...
- 金扬利陈玮王琪徐博
- 交/直流薄膜方块电阻测试系统设计与分析被引量：1
- 2024年
- 四探针法测量薄膜方块电阻具有测量精度高、稳定性好等优点,被广泛应用于薄膜器件制备、半导体微区掺杂等领域。为了提高薄膜方块电阻的测试速度及精度,以改进的范德堡法原理为基础,采用压控电流源方式输出稳定的电流,利用LabVIEW软件搭建了一套能使用交/直流测量薄膜方块电阻的测试系统。为了验证该测试系统的合理性及测试速度,选取Pt金属薄膜作为被测样品进行方块电阻的测量。测试结果表明,直流法和交流法都能精确测量薄膜方块电阻,直流法和交流法的单次测试时间分别为0378 s和0317 s,系统的测试速度优于商用280SI半导体设备。交流法测试Pt金属薄膜方块电阻的抗干扰能力比直流法强。该系统为被测样品选取合适的测试电流和测试方法提供了参考,对薄膜样品进行变温电阻率连续测量具有重要意义。
- 陈明武王亚林冯金良王尚前刘剑王可
- 关键词：LABVIEW直流方块电阻
- 恒温装置以及半导体薄膜方块电阻测试仪
- 本实用新型公开了一种恒温装置以及半导体薄膜方块电阻测试仪，所述恒温装置包括：喷嘴，其上具有相连通的进气口和出气口；供气管道，与所述进气口相连通；控温机构，设置于所述供气管道外，用于调节所述供气管道内的气体的温度。本实用新...
- 李付锦赵迎春熊敏
- 半导体结构及其制备方法、方块电阻的测量方法
- 本申请涉及一种半导体结构及其制备方法、方块电阻的测量方法，半导体结构包括衬底以及电阻结构，衬底内包括沿第一方向间隔排布的隔离结构，及由隔离结构定义的有源区；电阻结构位于衬底的顶面，电阻结构包括蛇形电阻块及与蛇形电阻块的首...
- 周宁宁陈立业张德培
- 导电薄膜方块电阻多探针测量方法及测量头
- 一种导电薄膜方块电阻多探针测量方法及测量头，涉及薄膜检测技术领域，所解决的是提升边缘测量能力的技术问题。该方法在目标样品上设定5个测量点，其中的4个点按传统四探针法排列成一个直线段P<Sub>14</Sub>，P5设置在...
- 刘相华
- 一种晶圆表面导电薄膜方块电阻测量方法及系统
- 本申请提出一种晶圆表面导电薄膜方块电阻测量方法及系统，包括：基于晶圆的设计版图确定至少一组测量坐标点，其中，测量坐标点位于晶圆的设计版图中的切割道或非有效芯片区域；在晶圆完成正面金属化且放置于电阻测量机台后，电阻测量机台...
- 符杰黄庆波封明辉
- 一种基于电容的阻抗特性测量半导体材料方块电阻的方法
- 本发明公开一种基于电容的阻抗特性测量半导体材料方块电阻的方法，本发明对异质结构电容‑电压测量的传统方法进行创新，提出理论模型，将势垒层和电子气建模成由微分电容和微分电阻构成的分布式网络，求解该分布式网络对应的传输线模型的...
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