搜索到 篇“ 微细加工技术 “的相关文章

相关作者

李以贵
作品数：148被引量：247H指数：7
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
李勇
作品数：601被引量：830H指数：16
供职机构：清华大学
研究主题：存储介质 微细电火花加工 工具电极 电子设备 电火花加工
张亚非
作品数：462被引量：333H指数：9
供职机构：上海交通大学
研究主题：碳纳米管 石墨烯 量子点 单壁碳纳米管 气体传感器
蔡炳初
作品数：221被引量：639H指数：14
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 形状记忆合金 微驱动器
朱军
作品数：102被引量：197H指数：9
供职机构：上海交通大学
研究主题：微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶