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一种声表面波器件
本发明涉及一种声表面波器件，包括：衬底；第一压电薄膜，设在所述衬底上；第二压电薄膜，设在所述第一压电薄膜上；第一换能器电极，设在所述第二压电薄膜上；第二换能器电极，设在所述第二压电薄膜上并与所述第一换能器电极的位置相对应...
欧欣郭新雨张师斌郑鹏程房晓丽
一种声表面波器件及其制备方法
本发明公开了一种声表面波器件及其制备方法。其中，声表面波器件包括：支撑衬底、压电层和电极；压电层设置在支撑衬底一侧；电极设置在压电层远离支撑衬底一侧；支撑衬底包括基底和反射层；压电层设置在反射层远离基底一侧；基底的声速小...
沈君尧
声表面波器件及射频前端模组
本申请公开了一种声表面波器件，包括衬底、第一介质层、压电层、叉指换能器和第二介质层；第一介质层设置于衬底上；压电层设置于第一介质层上；叉指换能器设置于压电层表面，在电极指的延伸方向上，两个汇流条之间具有交叠区域，交叠区域...
刘旻俊杜波李阳王华磊倪建兴
一种声表面波器件结构及装置
本申请提供了一种声表面波器件结构及装置，包括衬底和IDT电极，IDT电极形成于衬底上，包括相对设置的两个叉指电极，每个叉指电极均包括一个汇流条和多个电极，不同叉指电极的电极指之间交错间隔排列。通过在电极指上形成至少一个凹...
王园园汪泉张树民
声表面波换能器和声表面波器件
本发明提供了一种声表面波换能器和声表面波器件。在该声表面波换能器中，通过使叉指电极在边缘区域的至少部分材料的密度高于在主区域的材料密度，从而将边缘区域的声波速度调整至低于主区域的声波速度，如此即可产生活塞模式的工作状态，...
谢尔盖·巴苏库
声表面波器件、射频前端模组及电子设备
本申请涉及谐振器技术领域，尤其涉及一种声表面波器件、射频前端模组及电子设备，该声表面波器件包括压电衬底，所述压电衬底包括介质层和设置在介质层一侧的压电层；IDT电极，设置在所述压电层远离所述介质层的一侧；通过选择合适的介...
刘旻俊李阳杜波王华磊倪建兴
一种声表面波器件加工装置及加工方法
本发明公开了一种声表面波器件加工装置及加工方法，包括底座，支撑结构；第一导轨，固定在底座上端面的两侧；第二导轨，所述第二导轨滑动设置于所述第一导轨，以实现前后移动；升降装置，所述升降装置滑动设置于所述第二导轨，以实现横向...
窦云轩钱晨王梁臧寿兵顾枭杰徐家玉
声表面波器件、射频前端模组和电子设备
本申请涉及一种声表面波器件、射频前端模组和电子设备。该声表面波器件包括压电层、以及设于压电层的第一表面的叉指电极，叉指电极包括多个电极指；声表面波器件工作时的声波包括声表面波和体波，声表面波传播的方向为X方向；声表面波器...
李阳杜波刘旻俊王华磊倪建兴
一种声表面波器件、制备方法及滤波装置
本申请涉及声波器件技术领域，尤其涉及一种声表面波器件、制备方法及滤波装置。声表面波器件包括：压电层；电极层，形成在压电层上；电极层包括电极区和裸露区，电极区中形成有电极条纹，裸露区暴露出压电层表面；电极条纹具有顶面和侧面...
欧欣李忠旭黄凯
一种基于金刚石材料基体的声表面波器件
本发明公开了一种基于金刚石材料基体的声表面波器件。包括金刚石材料基体、图形化压电材料以及电极；所述金刚石材料基体用于声表面波的传输；所述图形化压电材料设置在所述金刚石材料基体上，所述图形化压电材料用于微波‑声波之间的转换...
谢波玮丁发柱古宏伟商红静董泽斌黄大兴许文娟苏广辉
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潘峰
作品数：142被引量：2H指数：1
供职机构：清华大学
研究主题：声表面波器件 存储器 机电耦合系数 底电极 氧化锌薄膜
文常保
作品数：138被引量：199H指数：8
供职机构：长安大学
研究主题：声表面波器件 声表面波 方块电阻 反相器 势垒
董加和
作品数：82被引量：49H指数：4
供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题：声表面波器件 声表面波滤波器 声表面波 杂波 SAW滤波器
巨永锋
作品数：265被引量：823H指数：13
供职机构：长安大学电子与控制工程学院
研究主题：声表面波器件 无线传感器网络 封装密度 换能器 欧姆接触电极
曾飞
作品数：156被引量：25H指数：3
供职机构：清华大学
研究主题：离子束辅助沉积 声表面波器件 存储器 磁各向异性 氮化铝薄膜