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一种原子层沉积制备AlScN薄膜的方法
本发明提供一种原子层沉积制备AlScN薄膜的方法，该方法包括：将衬底放入沉积室；将沉积室抽真空至预设压力后，将沉积室加热，并向沉积室中恒定通入载气；在衬底的表面进行a次AlN沉积循环；进行b次ScN沉积循环；重复a次Al...
司梦维李秀妍
原子层沉积方法以及原子层沉积系统
本申请涉及材料沉积工艺领域，特别是涉及一种原子层沉积方法以及原子层沉积系统。原子层沉积方法包括：确定待沉积金属氧化物层中的金属元素为目标元素；获取各目标元素对应组分比例的目标比例组；根据目标比例组获取第一参考比例组以及与...
邵大立史皓然齐彪李宇晗陆淋康刘子婵马敬忠
一种原子层沉积的装置
本发明公开了一种原子层沉积的装置，具体涉及薄膜制备技术领域，该原子层沉积的装置，包括原子层沉积反应管，原子层沉积反应管的表面固定连接有固定环，固定环的表面固定安装有管盖，原子层沉积反应管的外表面固定安装有调节装置，管盖靠...
张建王道征崔冠利陈玉龙刘岩马朝明李忠孝曹子建陈浩
高K介质层的原子层沉积方法
本发明提供一种高K介质层的原子层沉积方法，提供清洁处理后的衬底，利用氧化性气体处理衬底表面；将衬底放置在原子层沉积室内，在原子层沉积室中通入H2O和HfCl4作为前躯体，H2O采用预设脉冲时间以及预设温度，之后利用原子层...
苏良得
提高氧化铝原子层沉积速率的方法
本发明提供一种提高氧化铝原子层沉积速率的方法，提供衬底，在衬底上形成第一氮化钽层，之后在第一氮化钽层上形成钽层；利用原子层沉积的方法在钽层上形成氧化铝种子层，之后在氧化铝种子层上形成氧化铝层；在氧化铝层上形成第二氮化钽层...
杨淋淋邢中豪冯秦旭林建树梁金娥李宗旭张守龙
一种原子层沉积的装置
本发明公开了一种原子层沉积的装置，具体涉及薄膜制备技术领域，该原子层沉积的装置，包括原子层沉积反应管，原子层沉积反应管的表面固定连接有固定环，固定环的表面固定安装有管盖，原子层沉积反应管的外表面固定安装有调节装置，管盖靠...
张建王道征崔冠利陈玉龙刘岩马朝明李忠孝曹子建陈浩
原子层沉积方法
本发明涉及一种原子层沉积方法，所述方法至少包括：提供原子层沉积系统及基底，基底置于原子层沉积系统的反应腔中；向原子层沉积系统的反应腔中依次交替多次通入至少两种化学气相前驱体，在基底的表面进行化学吸附并反应形成膜层；其中，...
王怀超王河新
一种原子层沉积设备及沉积方法
本发明提供一种原子层沉积设备及沉积方法，沉积设备设置有反应腔室及退火腔室，其中反应腔室设置有多个加热器，待沉积外延层的衬底可以通过传输装置在不同的加热器之间传输，每一个加热器均可以独立调节加热温度。不同的加热器对应不同的...
孟昭生吴荘荘季明华
基于原子层沉积的触觉传感织物及其制作方法
本发明提供一种基于原子层沉积的触觉传感织物及其制作方法，其触觉传感织物包括织物基底、中间层和导电层；所述中间层和所述导电层利用原子层沉积技术依次沉积于所述织物基底；所述织物基底的材质为天然纤维或合成纤维；所述中间层的材质...
卢红亮刘梦洋张卫
原子层沉积设备及原子层沉积薄膜的制备方法
本发明涉及一种原子层沉积设备及原子层沉积薄膜的制备方法。本发明提供的原子层沉积设备包括：反应室，其具有反应腔，所述反应腔中设置有第一基片承载台和电极板，所述第一基片承载台用于承载基片，所述电极板位于所述第一基片承载台的上...
陈蓉曹坤严谨单斌李易诚胡嘉成
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陈蓉
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研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
覃勇
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研究主题：原子层沉积 催化剂 纳米催化剂 氧化物 修饰
卢维尔
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供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
单斌
作品数：169被引量：41H指数：4
供职机构：华中科技大学
研究主题：原子层沉积 喷头 莫来石 催化剂 前驱体