搜索到20184篇“ 加速度计“的相关文章
- 悬丝摆式加速度计
- 本发明公开了一种悬丝摆式加速度计，包括电路组件、电涡流传感器组件、悬丝摆组件、涡流片、永磁体组件，电涡流传感器组件包括电涡流线圈，悬丝摆组件包括摆框架、弹性支承悬丝，摆框架上缠有线圈绕组，摆框架一侧位于固定磁场内，涡流片...
- 王英
- 一种梳齿电容式加速度计
- 本发明公开一种梳齿电容式加速度计，涉及微机械加速度计技术领域，包括衬底和加速度计结构，加速度计结构设置于衬底上；加速度计结构包括固支框架、敏感质量块框架和非可动电极组件，非可动电极组件通过电极锚点固定于衬底上，敏感质量块...
- 杨俊飞任延超闫桂珍段国栋
- 一种MEMS加速度计及其应用
- 本发明公开了一种MEMS加速度计及其应用，该MEMS加速度计包括：基板；设置在基板上的若干单元；单元包括：质量块，质量块间隔于基板所在平面，且被配置为在第一加速度作用下可沿平行于基板的第一方向位移；杠杆结构，杠杆结构连接...
- 仇旭萍
- 一种MEMS加速度计自动校准方法
- 本发明涉及一种MEMS加速度计自动校准方法，以z轴为例，其包括以下步骤：依次判断MEMS加速度计的水平状态、静止状态和正常状态，如果MEMS加速度计处于非正常状态，则无法进行校准动作；利用地球重力特性，当物体静止时，三轴...
- 王钰昌
- 一种加速度计测试设备
- 本发明公开了一种加速度计测试设备，包括供料系统和视觉检验系统，所述自动供料系统包括圆盘供料组、直振供料组和调节垫板，所述圆盘供料组的下端安装有调节垫板，且调节垫板的一侧设置有直振供料组，所述自动供料系统的下端一侧设置有机...
- 陈恕华胡晨光
- 一种光纤光栅加速度计
- 本实用新型公开了一种光纤光栅加速度计，包括：主体、安装组件和防护机构，主体包括机体和两组一级安装板，两组一级安装板分别固定连接在机体两侧，两组一级安装板板面均对称开设有两组一级通孔，安装组件包括框体、二级安装板和连接件，...
- 邵冠峰汤叶飞
- 硅微加速度计产品技术发展概览
- 2025年
- 国内技术发展现状电容式硅微加速度计MEMS加速度计的研究能追溯到20世纪80年代,1995年科技部设立了“微电子机械系统项目”,使得国内关于MEMS加速度计的探索和研究速度急剧上升。目前,国内关于MEMS加速度计的研究主要集中于高校和科研院所,如清华大学、哈尔滨工业大学、国防科技大学、浙江大学、东南大学、上海微系统所、河北半导体研究所、北京航天控制仪器研究所等。
- 秦和平胡利
- 关键词：MEMS加速度计微电子机械系统硅微加速度计
- 一种石英挠性加速度计的密封结构
- 本实用新型公开了一种石英挠性加速度计的密封结构，包括石英挠性加速度计和外壳，所述石英挠性加速度计的外围设置有密封圈，所述密封圈两侧的上方设置有凸块，所述密封圈的上方设置有集成电路板；所述外壳包括设置在所述密封圈外围的下壳...
- 任德忠牛大为叶进兵
- 基于MEMS加速度计的摇臂倾角检测方法
- 本发明涉及一种基于MEMS加速度计的摇臂倾角检测方法，将三个三轴MEMS加速度计a、b、c分别安装在采煤机的电控箱内和左、右摇臂上，加速度计b、c的y检测轴分别平行于左、右摇臂的摆动轴线，电控箱和左、右摇臂均处于水平状态...
- 陈子千庄德玉方彤张启志宋恩亮罗昆
- 硅微加速度计产品技术发展概览 2
- 2025年
- 2024年,美国MEI Micro,Inc.公司发布了一款两用导航级低C-SWaP单敏感质量三轴硅微加速度计(见图7、图8、图9):在±10g范围内,速度随机游走(VRW)为3μg/Hz^(1/2),偏差不稳定性为7μg。该加速度计是在其新近开发完成的一种芯片级多轴MEMS惯性传感器工艺平台(3DS MEMS)上推出的首款产品,该工艺平台首次实现了将战术级/导航级多轴加速度计和陀螺仪集成到单个芯片,并能进行MEMS器件晶圆级真空封装,实现6轴运行,拥有从战术级到导航级的性能。
- 秦和平胡利
- 关键词：真空封装硅微加速度计MEMS器件随机游走芯片级
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- 石云波
- 作品数：483被引量：720H指数：13
- 供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室
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- 杨波
- 作品数：257被引量：304H指数：9
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